1、宗润福先生，1964年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，男，研究生学历，工业企业电气自动化专业，二级研究员，享受国务院政府特殊津贴，曾获得国家科技重大专项突出贡献奖、辽宁省优秀新产品奖励一等奖、辽宁省科学技术奖励二等奖、辽宁省优秀专家等多项殊荣。宗润福先生自1988年5月至1993年9月，先后担任中国科学院沈阳自动化研究所控制工程部工程师、造价组组长；1993年10月至1995年9月，担任控制工程部副组长；1995年10月至1999年2月，担任中国科学院沈阳自动化研究所控制工程部主任；1999年3月至2002年11月，担任中国科学院沈阳自动化研究所科技处处长、室主任；2002年12月至2019年3月，任芯源有限总经理、董事、董事长；自2019年3月至今，任公司董事长兼总裁。

2、陈兴隆先生，1976年8月出生，中国国籍，拥有美国永久居留权，男，研究生学历，获博士学位，机械与航空工程专业，高级工程师，入选辽宁省“兴辽英才计划”创新领军人才。2005年10月至2014年1月，于美国应用材料担任资深工程经理；2014年3月至2017年3月，于韩国三星电子公司生产技术研究所担任首席工程师；2017年5月至2018年1月，于SEMES America Inc.担任技术创新官；2018年3月至2019年3月，担任芯源有限副总经理、首席技术官；2019 年 3 月至 2022 年 3 月，担任公司董事、副总裁、首席技术官。自 2021 年 2 月起，担任上海芯源微企业发展有限公司执行董事、法定代表人。

3、李风莉女士:1966年8月出生,中国国籍,无境外永久居留权,本科学历,会计师,自1989年7月至1992年8月,担任沈阳车床研究所设计员;1992年9月至1995年8月,担任沈阳日汇电子有限公司职员;1995年9月至2002年12月,担任沈阳劲达有限公司财务经理;2003年1月至2019年3月,担任芯源有限财务部部长、财务总监;2011年1月至2019年3月,担任芯源有限副总经理;2019年3月至2022年3月,担任公司副总裁、财务总监、董事会秘书;现任公司副总裁、董事会秘书。 

4、顾永田先生，1981年11月出生，中国国籍，无境外永久居留权，男，研究生学历，车辆工程专业，中级工程师。2008年6月至2015年6月，于三一集团有限公司担任制造部长助理、研究所长、商务部长；2015年7月至2019年3月，历任芯源有限产品实现部部长、部门总监；2017年7月至2019年3月，担任芯源有限副总经理；2019年3月至今，担任公司副总经理。

5、汪明波女士，1982年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，女，硕士研究生学历。历任芯源有限高端封装事业部部长，市场发展部总监，光刻事业部总经理；现任公司光刻事业部总经理。2021年4月至今，担任公司副总裁。

6、崔晓微女士，1985年3月出生，中国国籍，无境外永久居留权，女，硕士研究生学历。历任芯源有限总经理秘书、科技管理部副部长、综合资源部部长、公共资源部总监、总裁助理。2021年2月至今，任公司子公司上海芯源微副总经理。2021年4月至今，担任公司副总裁。

7、张新超先生，1981年11月出生,中国国籍,无境外永久居留权,硕士学历,注册会计师,高级会计师,2004年起至2011年6月,于东软集团历任行业管理会计、开发成本会计主管、高级财务分析师、高级财务经理;2011年6月至2013年7月任东软熙康财务与经营部部长,2013年7月至2015年6月,任沈阳机床财务控制部部长;2015年6月至2016年5月任神州高铁财经管理部部长;2016年6月至2020年12月任美行科技财务总监。2021年1月至今,担任沈阳芯源微电子设备股份有限公司计划财务部部长、总监。